A HEIDENHAIN, az út- és szögelfordulásmérők, a forgóadók, a helyzetkijelzők és a CNC vezérlők vezető gyártója speciálisan a nagy- és az ultranagy vákuumban való használatra tervezett innovatív útmérőrendszereket mutatott be. Az ezekben a mérőrendszerekben alkalmazott összetevőket – elsősorban a házban, a nyomtatott áramköri lapokon és a ragasztóban – a fenti vákuumosztályok előírásaihoz igazították.
Míg a gyenge és a közepes vákuumban a HEIDENHAIN standard mérőrendszereit minden további nélkül használni lehet, a nagy és az ultranagy vákuum különleges követelményeket támaszt a pozícionálási feladatokra alkalmas mérőrendszerekkel szemben. Az elsősorban az ilyen felhasználásra tervezett HEIDENHAIN útmérők különleges konstrukciós megoldásaik eredményeként teljesítik a vákuum speciális követelményeit.
A tervezés és a gyártás során a következőkre ügyeltek:
• vákuumban is üzembiztos áramköri lapok, ragasztók és bevonatok a
gázfejlődés csökkentése érdekében
• légtelenített üregek a kiszivattyúzási idő lerövidítésére
• öntapadó címkék helyett lézeres feliratozás
• nagyfokú hőállóság a magas kiszárítási hőmérsékletek miatt
• ferromágneses anyagok kizárása a nagyfokú működési biztonság
erdekében
• speciális vákuumtűrő vezetékek
• a legnagyobb tisztaság biztosítása érdekében különleges tisztaságú
alkatrészek és a tiszta műhelyben való gyártás
A HEIDENHAIN „vákuumos“ mérőrendszereinek fő részei az üveg mérőléc, a leolvasó fej és az illesztő elektronika (APE). Tartozékként rendelhetők a rögzítő fülek, a fixpont-tartó, a vákuumátvezető, a vákuumragasztó és a hosszabbító kábelek. Az útmérők és a szögelfordulásmérők a vákuumban többek között a következő alkalmazásokban fordulnak elő: elektronsugár mikroszkópban, manipulátorokban, XY asztalokban, E-Beam mikroszkópban, csipek ellenőrzésében a félvezető iparban vagy a szinkroton sugárzás mérésére a spektrométer tengelyeken.
A vákuumtechnika egy sor korszerű gyártási eljárásban és kutatási feladatban játszik fontos szerepet. Vákuumtechnikai eljárások nélkülözhetetlenné váltak az elektronikai iparban, a vékonyréteg-technológiában, új anyagok kifejlesztése során, a biotechnikában, valamint a gyógyászatban és az orvosi analízisek készítésekor. A HEIDENHAIN vákuumos mérőrendszerei három kivitelben készülnek: LIF 481 V, LIP 481 V és LIP 481 U, melyek pontosságukban, vákuumosztályukban, kiszárítási hőmérsékletükben, elektromos csatlakozásukban és gyártási környezetükben különböznek egymástól.
Vákuumnak az üres teret nevezzük, azaz egy levegővel vagy más gázzal nem feltöltött térfogatot. Minőségük szerint megkülönböztetünk gyenge, közepes, nagy és ultranagy vákuumot. Minél kevesebb levegő maradt a térben, annál magasabb az úgynevezett vákuumosztálya. Gyenge vákuumról beszélünk max. 1 mbar levegőnyomás esetén, ez alatt már közepes a vákuum. 0,001 mbar alatt nagy vákuumról, 0,000 000 1 mbar alatt ultranagy vákuumról van szó.
A vákuum mint levegő- és részecskementes tér ott szükséges, ahol ‚idegen’ részecskék jelenléte zavaró lenne. Bizonyos körülmények esetén közvetlenül a vákuumtartományban kell dimenzióméréseket elvégezni, például, ha finom struktúrákat a szubmikrométer tartományban kell ellenőrizni vagy részecskéket kell szétszedni és megvizsgálni.
A traunreuti Dr. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH út- és szögelfordulásmérőket, forgóadókat, helyzetkijelzőket és CNC vezérlőket fejleszt és gyárt. Legfontosabb ügyfeleik a szerszámgépgyártók és a félvezető- és elektronikai ipar részére automatizált berendezéseket és gépeket gyártó cégek.
A HEIDENHAIN méréstechnikai szakértelmét számos - speciálisan a felhasználók igényeire szabott - megoldás bizonyítja. Ezek közé tartoznak a világ sok szabványügyi laboratóriuma számára kifejlesztett és legyártott mérő- és ellenőrző készülékek éppúgy, mint a különféle teleszkópokhoz és szatellit vevőantennákhoz szállított szögelfordulásmérők. A HEIDENHAIN magas minőségi színvonalát igazolja a DIN ISO 9001 szerinti minőségbiztosítási tanúsítvány és a DKD (Német Mérésügyi Hivatal) út- és szögmérési kalibráló tevékenységre jogosító hivatalos engedélye.
DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH
Dr.-Johannes-Heidenhain-Str. 5 • 83301 Traunreut
Tel. (0 86 69) 31-0 • Fax (0 86 69) 50 61
info@heidenhain.de
www.heidenhain.de