Burkolat nélküli útmérők
A burkolat néküli útmérőket olyan gépek és berendezések számára fejlesztették ki, melyekben különösen nagy pontosságú mérési értékekre van szükség.
Jellemző alkalmazások:
- a félvezetőgyártás termelő- és mérőberendezései
- PCB (nyák) beültető gépek
- ultraprecíziós gépek
- nagypontosságú szerszámgépek
- mérőgépek és komparátorok, mérőmikroszkópok és más precíziós mérőberendezések
- közvetlen hajtások
|
|
|
A LIC burkolat nélküli útmérők nagy mérési hosszakon – akár 27 m – és nagy előtolási sebességek mellett teszik lehetővé a pozícióértékek abszolút meghatározását. Méretük és felszerelésük módja megegyezik a LIDA 400 típuscsaládéval. |
|
A LIP burkolat nélküli útmérőket a legnagyobb pontossággal és ismételhetőséggel együtt járó igen finom mérési lépések jellemzik. Az interferenciális mérési elv alapján működnek, mértékmegtestesítőjük DIADUR fázisrács. |
|
A LIF burkolat nélküli útmérők az interferenciális mérési elv alapján működnek, mértékmegtestesítőjük SUPRADUR eljárással készül. Jellemzőjük a nagy pontosság és ismételhetőség. Különösen egyszerű a felszerelésük, végállás-kapcsolóval valamint homing-sávval is rendelkeznek. A különleges kivitelű LIF 481 V akár 10-7 bar mértékű igen nagy vákuumban is használható (lásd a külön termékinformációt). |
|
A LIDA burkolat nélküli útmérők használata különösen nagy előtolási sebességek (max. 10 m/s) esetén célszerű. A különféle felszerelési módoknak köszönhetően széles körben alkalmazhatók. A kiviteltől függően acél szalag, üveg vagy üvegkerámia hordozhatja a METALLUR rácsosztást. Végállás-kapcsolóval is rendelhetők. |
|
A PP kétkoordinátás mérőrendszer mértékmegtestesítője egy DIADUR eljárással gyártott síkbeli fázisrácsos struktúra, melynek leolvasása interferenciális módszerrel történik. Így lehetővé válik a síkbeli pozícióérzékelés. |
Mechanikai felépítés
A burkolat nélküli útmérők fő részei a mérőléc ill. a mérőszalag és a leolvasó fej, melyek érintésmentesen működnek. A burkolat nélküli útmérők mérőlécét megfelelően előkészített szerelő felületre rögzítik. Az útmérők nagy pontosságú működésének előfeltétele, hogy a szerelő felület rendkívül pontosan sík legyen.
Exposed Linear Encoders